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「生産ライン」

卓上型チップソーター CT-200

卓上型チップソーター CT-200

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優れた信頼の日本製です。

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

自動カセット・ボックス洗浄システム SC-8

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

エアー緩衝材製造装置 HUG PACK HP-8201

エアー緩衝材製造装置 HUG PACK HP-8201

HUG PACKは梱包などに使用するエアー緩衝材を、必要な時に必要な分だけ製作することができる装置です。小型・軽量・低騒音でメンテナンスも容易、充填エアー量などの設定機能も備え、自動ストップや自動節電機能など省エネにも貢献いたします。自社設計開発製品ですので、万全のアフターサービス体制。毎分9mもの生産能力を持ったHUG PACKをぜひお使いください。

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

薄型ウェハ対応(TAIKOプロセス)シングルピックアップのウェハ移載機。 ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。省スペースの卓上タイプ。

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

マルチプレートモニター MP-1

マルチプレートモニター MP-1

マルチプレートモニター「MP-1」は、イオナイザのメンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニターです。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「除電時間」、「イオンバランス」を簡易的に計測することができます。 タッチパネルによるスムーズな操作により、日々のイオナイザメンテナンスが簡素化されます。 計測データはグラフによるリアルタイム表示のため、イオナイザの動作状態を一目で判断する事ができます。

インラインエアーガン MODEL 3100

インラインエアーガン MODEL 3100

手のひらサイズの小型設計により、狭い装置内等への搭載に優れています。 イオン発生方式は、高周波方式を採用しているため、イオンバランスを均一に保ち、精密な除電が可能です。 放電針の「クリーニング警報機能」、高圧異常時の「安全回路機能」を組み込んだ安全設計です。

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC式イオナイズィングバー MODEL4100V

フレキシブルAC方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

SMIF POD 洗浄システム CP-2200

SMIF POD 洗浄システム CP-2200

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。 CP - 2200 は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 CP - 2200 はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。

防爆型除電バー システム 8804

 防爆型除電バー システム 8804

充実した安全装置。 電極部絶縁材料は難燃性 VO 相当を使用。 イオンブロー方式により、大きな除電エリア、 電極一体型ブローパイプ。 豊富なモニタ表示で異常を素早くキャッチ、 除電電極は放電ユニット交換が可能。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

スペースを選ばない超小型 軟 X 線照射イオナイザー。 光がガス分子を直接イオン化して除電します。

スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750

 スタティックモニター (表面電位センサー) MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での 静電気対策に各種除電装置は不可欠な ものですが、思わぬトラブルや環境異常等に よる除電ミスが製品の品質、製造コストの 上昇、効率化等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所 での静電気監視、管理が行えます。

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

USW-102 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUPさせ、より強力な超音波を発生することで、 USW-102 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたウェブ用クリーナーです。 V スリットチャンバー内も特殊エアーバランサーを入れ、幅方向のエアーバランスは、より均一化されたものになっています。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着したダストを非接触法で完全に除去します。

ウェブ用クリーナー USW-102

ウェブ用クリーナー USW-102

PV 式スリット配列の USW-101 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を剥離可能なウェブ用クリーナーです。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着した異物を非接触法で完全に除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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