半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

これまで高い評価をいただいておりました"i Blower" MODEL 1400シリーズに、追加機能として「クリーニングアラーム機能」「安全回路機能」を搭載しました。 表面パネルに装備したLEDの点灯により放電電極の清掃周期をお知らせします。 また、放電電極からの異常放電を感知すると、電源を自動で遮断し、アラームでお知らせします。 半導体や LCD 等の精密部品組立工程や製造装置内での静電気除去を目的とした、省スペースで高性能なイオン送風器です。 イオン拡散効率の良い DC 方式と高効率ファンによる高速除電が可能です。 イオンバランスはイオンセンサーにより常時コントロールされます。

フレキシブルＡＣ方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。 またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。

簡単操作・見やすさ・使いやすさをコンセプトとして開発した送風器【ミラノ】は、イオンバランス確認やリモコン操作が、本体の前後どちらからでも可能です。 更に、従来の送風器ではカバーしきれなかった遠距離でも、今までにない急速除電が可能となりました。 独自のイオンセンサー構造がイオンバランスをマイコン制御することにより、従来のＤＣタイプに比べ、更にイオンバランスが均一となります。 【ミラノ】の風をぜひお試しください。

底面がフラットなフラットパネル用小型クリーナーです。 小型基板や小型の部品などに適しており、従来型SPSタイプを改良することで、さらに低価格を実現しました。 コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存工場設備を利用する事で初期導入費用を抑え、低コストでの運用が可能です。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 コロ・コンベア搬送されるFPDや太陽光発電パネルの上面クリーニングに最適です。