バックグラインド関連

BG フィルム貼付装置について

BG フィルム貼付装置について

Q1
気泡は入るのか
A1

ローラーに均一な圧力が加わるため、気泡が入ることなく貼付が可能です。

Q2
ウェハサイズは
A2

6 インチまで対応可能な Model 3200 と、8 インチまで対応可能な Model 3250 があります。

Q3
フィルムカットの形状は
A3

ウェハのエッジにそってカットされます。オリフラ部分もエッジに沿ってカット可能です。

Q4
フィルムカット精度は
A4

ウェハのエッジに沿って 130μ以内にカットできます。

Q5
バックフィルムの処理は
A5

バックフィルムの巻き取り機構が付属されています。

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※営業部直通(9:00~17:00)