2009/11/25

載せるだけ。エリアセンシングでスピード除電　「MODEL9100」

Ion Area Sensing Stage

MODEL 9100

製品概要

本製品はイオン送風器を載せて、除電対象物に対して風向きを自動調整する回転ステージです。
対象物の位置を常にセンシングしているため、除電対象物の動きに合わせてステージが回転します。
送風器からのイオンを効率よく除電エリアへ。

特徴

回転エリアは60度、90度、120度の設定が可能です。
回転モードはFAST、SLOW、FREEの設定が可能です。

*セミコンジャパン2009参考出展予定