• ウエハ用クリーナーについて
• ウエハ用非接触式ドライクリーナー
• 非接触式超音波小型クリーナー
  （基板用） SPH-X110/ 110
• 非接触式超音波スポットクリーナー（基板用） SPS-10

ウエハ用クリーナーについて

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  ウエハ用非接触式ドライクリーナー

  マウンターテーブル(ステージ)のクリーニング/ダイシングテープやBGテープ、保護フィルム貼り付け前/ダイシング後/ドライスクライブ（ブレイキング）後/バックグラインディング後/検査工程前などでご使用いただける非接触式のドライクリーナーです。

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  非接触式超音波小型クリーナー
  （基板用） SPH-X110/ 110

  有効長400mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。
  コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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  非接触式超音波スポットクリーナー（基板用） SPS-10

  有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー（CDA）＋排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。