FPD市場での導入例

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL) のアレイ・セル工程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

製品ターゲット

液晶パネル、有機EL、タッチパネル、バックライト、太陽電池、プリント基板、etc

採用工程

成膜、スパッタ、レジスト塗布、露光、ドライエッジング、光配光剤塗布、ラビング、シール材塗布、偏光板貼付、ガラス貼付、封止、蒸着、etc

有効幅は100～3000mm超まで大小様々な基板に対応可能です。
従来型との比較

除塵性能

1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です
実験条件

N2環境対応

液晶製造ラインで実績のあるドライ洗浄技術を窒素環境下でも実現しました。密閉チャンバー内の窒素環境下で有機蒸着されたガラス表面の異物を除去することが可能です。チャンバー内の窒素環境を維持した状態でクリーナー処理を行うための、新たに設計されたブロワ／フィルターユニット、温度コントロールシステムをご提供致します。（特許取得済）

デモ評価機

製品の詳細仕様につきましては弊社営業までお問い合わせください。

クリーニングヘッド

360°view

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ブロワーキャビネット