基板クリーナー

ヒューグルエレクトロニクスが提供する有機ELディスプレイ用クリーナーは、密閉チャンバー内の窒素環境下で有機蒸着されたガラス表面の異物を除去することが可能です。 すでに多くの有機EL封止(ENCAPSULATION)工程にて使用されており高い評価を頂いています。

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 FPD、有機EL、PVパネルの上面クリーニングに最適です。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)