基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401S

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。


コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。


FPD、有機EL、PVパネルの上面クリーニングに最適です。

製品概要・仕様
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有効幅は100~3000mm超まで大小様々な基板に対応可能です。

従来型との比較

1400mm基板比USG-401Sメリット
ヘッド寸法 ▲50% 省スペース
ブロワーユニット寸法 ▲12% 省スペース
ブロワーユニット重量 ▲20% 軽量化
ブロワー定格 ▲25% 小型化
消費電力 ▲22% 省電力
ランニングコスト ▲20% 省エネ
イニシャルコスト ▲20% 低価格


除塵性能

1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です

実験条件

実験装置 弊社内クリーンルーム(クラス100)内搬送装置
除塵対象 液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜)
散布粒子 液晶用スペーサー(ミクロパール1.6・3・5・10μm)、ガラス粉塵
ヘッド吐出圧力 13kPa
基板ギャップ 1.5mm
搬送速度 100・200・300mm/sec
評価機器 CCDカメラ

N2環境対応

密閉チャンバー内でのクリーニングを実現した製品(特許取得済み)をご用意しております。
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デモ評価機



搬送タイプ クリーニングヘッド駆動式
対象基板サイズ 最大730㎜×920㎜
評価機器1 全面ガラス検査装置 GI-5400(日立ハイテク製)
評価機器2 デジタルマイクロスコープ VHX-5000(キーエンス製)
倍率:500倍~5000倍

クリーニングヘッド

ブロワーキャビネット

製品紹介ビデオ

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)