基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

製品概要・仕様
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製品概要

大型ディスプレイの需要拡大期にあたり、パネル製造メーカーはマザーガラスの大型化による生産性の向上を進めております。弊社では今日までに培ったドライ洗浄技術を生かし、今後の大型パネルにおける生産性の向上に貢献してまいります。(G12対応機開発中)

除塵性能

1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です

実験条件
実験装置 弊社内クリーンルーム(クラス100)内搬送装置
除塵対象 液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜)
散布粒子 液晶用スペーサー(ミクロパール1.6・3・5・10μm)、ガラス粉塵
ヘッド吐出圧力 13kPa
基板ギャップ 1.5mm
搬送速度 100・200・300mm/sec
評価機器 CCDカメラ

N2環境対応



搬送タイプコンベア式対象基板サイズ最大1100㎜×1300㎜評価機器1全面ガラス検査装置 GI-5400(日立ハイテク製)評価機器2デジタルマイクロスコープ VHX-5000(キーエンス製)
倍率:500倍~5000倍/article>

クリーニングヘッド

ブロワーキャビネット

製品紹介ビデオ

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※営業部直通(9:00~17:00)