容器洗浄装置
容器洗浄装置について
半導体製造工程において使用されるウェハ専用容器（カセット／ボックス）レチクル専用容器などをメインとした容器洗浄装置です。
200mm以下のウェハ専用容器・300mmのウェハ専用容器（各種FOUP・FOSB）・レチクル専用容器の洗浄装置を幅広く取り扱っており、マニュアル機からオート機まで、お客様の多様なニーズに対応できるランナップとなっております。
TOPシェアメーカーであり、高い納入実績を誇る当社洗浄装置は、世界中のお客様から信頼されており、ワールドスタンダードモデルとして高い評価を得ています。
今後もお客様の多様なニーズに対応すべく、容器洗浄機のトップシェアメーカーとして進化し続けていきます。
