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製品紹介

容器洗浄装置

半導体製造工程において使用されるウェハ専用容器(カセット/ボックス)レチクル専用容器などをメインとした容器洗浄装置です。

200mm以下のウェハ専用容器・300mmのウェハ専用容器(各種FOUP・FOSB)・レチクル専用容器の洗浄装置を幅広く取り扱っており、マニュアル機からオート機まで、お客様の多様なニーズに対応できるランナップとなっております。

TOPシェアメーカーであり、高い納入実績を誇る当社洗浄装置は、世界中のお客様から信頼されており、ワールドスタンダードモデルとして高い評価を得ています。

今後もお客様の多様なニーズに対応すべく、容器洗浄機のトップシェアメーカーとして進化し続けていきます。

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