RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150(REN)

レチクル専用容器であるRSP200,及びRSP150のフルオート洗浄システムです。
高い洗浄性能を搭載した本装置はナノレベルのパーティクル除去を実現しております。
精密洗浄、省スペースをメインコンセプトとしており、効率的な生産環境の構築をサポート致します。

製品概要・仕様

製品概要

・省フットプリント設計
・独自の洗浄技術による超精密洗浄
・高効率乾燥方式による完全乾燥実現
・全自動POD開閉によるクロスコンタミネーション防止
・各メーカーのRSP-200/150に対応
・ロボットハンドセルフクリーニングシステム内蔵

仕様

装置本体:1230mm(W) ✕ 2115mm(L) ✕ 2185mm(H) ※突起物含まず

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)