SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。 IA-8は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。(その他容器についてもご相談に応じます。)

製品概要・仕様

製品概要

・省フットプリント設計
・純水ジェット洗浄・エアーナイフ温風乾燥
・死水防止対策
・タッチパネルによる簡単操作
・シーケンサ方式採用のコントローラ
・容易なメンテナンス
・ニーズに合わせた種々のオプション設計が可能

仕様

装置本体:1300(W) × 900(D) ×1500(H) mm(突起物含まず)
付帯設備: 600(W)×1000(D)×1400(H)mm(突起物含まず)

※本装置の詳細は、弊社本社・もしくは営業所へお問い合せください。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)