• 製品紹介
  • 製品FAQ&活用事例
  • イベント情報
  • ユーザーサポート
  • 会社概要
  • アクセス
  • お問い合わせ
製品一覧

お問い合わせフォーム

アクセスマップ
エンジニア採用情報
イベント情報
Korea Hugle Electronics,inc
ユーザーサポート
  • ユーザー登録 新規登録/変更/削除
  • ダウンロード オンラインで資料を入手
  • 生産終了製品 今までに発表した製品情報

製品紹介

12インチ対応 洗浄装置

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500(SORA)

FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500(SORA)

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。 現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。 自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

ページTOPへ