• 製品紹介
  • 製品FAQ&活用事例
  • イベント情報
  • ユーザーサポート
  • 会社概要
  • アクセス
  • お問い合わせ
製品一覧

お問い合わせフォーム

アクセスマップ
エンジニア採用情報
イベント情報
Korea Hugle Electronics,inc
ユーザーサポート
  • ユーザー登録 新規登録/変更/削除
  • ダウンロード オンラインで資料を入手
  • 生産終了製品 今までに発表した製品情報

製品紹介

12インチ対応 洗浄装置

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

製品概要

・高スループット(当社旧モデル比)
・省フットプリント
・除電/除塵対策
・ノズルジェット洗浄による精密洗浄
・ホットエアーナイフ乾燥による短時間での完全乾燥
・死水防止機能搭載
・自動FOUP Opner機構追加可能(Option)

仕様

装置本体:2300(W) × 1400(D) ×2200(H) mm(突起物含まず)
 
※ 本装置の詳細に関しては弊社本社・もしくは営業所へお問い合せください。

ページTOPへ
  • お問い合わせフォーム
  • アクセスマップ