FOUP/FOSB フルオート洗浄システム　UPC-12500（SORA） : ヒューグルエレクトロニクス株式会社

FOUP/FOSB フルオート洗浄システム　UPC-12500（SORA）

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。
現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。
SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。
自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。
世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。