製品概要 ● 高スループット ● 省フットプリント設計 ● 省エネ対策 ● 全自動FOUP開閉によるクロスコンタミネーション防止 ● 2流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄 ● 高効率乾燥方式 ● SEMI通信規格GEM300対応 ● 高納入実績 ● SEMI S2,S8,CE規格準拠