FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500(SORA)

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300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。
現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。
SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。
自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。
世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

製品概要・仕様
製品紹介ビデオ

製品概要

● 高スループット
● 省フットプリント設計
● 省エネ対策
● 全自動FOUP開閉によるクロスコンタミネーション防止
● 2流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄
● 高効率乾燥方式
● SEMI通信規格GEM300対応
● 高納入実績
● SEMI S2,S8,CE規格準拠

仕様

装置本体:2200(W) × 3250(D) ×2500(H) mm(突起物含まず)


※本装置の詳細に関しては弊社本社・もしくは営業所へお問い合せください。

製品紹介ビデオ

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)