クリーンイオナイザー製品

Model 3200 / 3250

最大 8 インチまでのウェハに対応可能。
ウェハエッジでのテープカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。
また、作業時間も 1 枚の貼り付け / カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。
フィルムのセパレーター巻取り / 静電気対策も可能です。

Model 3200 / 3250

製品概要

  • ウェハにBGテープを張り付ける装置です。気泡なく均一な貼り付けが可能です。
  • ウェハエッジでのテープカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。
  • 作業時間も 1 枚の貼り付け/カットに約 20 秒と作業効率の向上に貢献します。
  • テープのセパレーター巻取り/静電気対策も可能です。

仕様

装置型式 Model-3200 Model-3250
対応ウェハサイズ
重量 36kg 45kg
高さ 280mm 280mm
奥行 711mm 812mm
381mm 432mm
真空 85kPa 85kPa