DC式イオナイザーバ ー MODEL 453S

製品カタログPDF

お客様のご要望の通りにミリ単位で製作可能なDC式イオナイザーバーのご紹介です。
半導体やFPD業界の製造装置内への設置もオーダーメイド製作のため簡単に後付け設置可能です。又、半導体やFPD基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンブース/クリーンベンチに設置する事により、静電気による塵埃の付着・放電による製品の破壊を防止できます。
コントローラー部と放電バー間にDC12V信号線を採用する事により、安全性が更に向上しています。

製品概要・仕様
外観図PDF

製品概要

◎バー寸法は300mm~2500mmまで1mm単位で製作可能
◎最大6台の複数接続可能。個々のイオンバランス調整可能
◎FFU(ファンフィルターユニット)のダウンフローのみで除電可能

製品仕様

型式 MODEL 453S(バー)
入力電流 0.2A
出力電圧 ±4.8kV~±7.0kV
消費電流 0.2A以下
バーA寸法(mm) 300 ~ 2500 (1mm単位)
バー接続本数 最大6本
周囲温湿度 動作時10~40℃ 35~65%RH 保存時0~40℃ 35~85%RH(氷結 結露なきこと)
外形寸法(mm) 指定寸法(W)+14×34(D)×55(H)
オプション MODEL 453S用中間ホルダー
MODEL 453S用中間スペーサー
ADP 5200 アダプターボックス
4Pモジュラーケーブル
消耗品 タングステン針:W-453S(電極のみ)
WG-453S(電極+ガード)
ポリシリコン針:P-453S(電極のみ)
PG-453S(電極+ガード)

型式 MODEL 470R(コントローラー)
放電方式 ダブルDCまたはパルスDC方式
入力電圧 AC100V~AC240V 50Hz/60Hz
電源コード AC100V用付属
入力電流 1.0A
消費電流 1.2A以下
パルス幅 0.4sec~4.0sec
出力端子 モジュラーコネクター3口
警報出力 クリーニング表示及び信号出力
アラーム表示及び信号出力
外形寸法(mm) 154(W)×188(D)×93(H)
重量(g) 560g
付属品 ACアダプター電源コード(AC100V用3m)

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)