ガンタイプ イオナイザー

新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプイオナイザーは、高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、アラームにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(集中的から広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

03-3263-666203-3263-6662

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