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クリーンイオナイザー製品
クリーンジェットガン MODEL 307R
本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。
安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、アラームにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。（高安全設計）
除電・除塵エリア（集中的から広範囲まで）を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。
ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー（又は、窒素）により素早く・正確に除去します。
製品概要
- エアー吹き出しノズルはビームノズルとスプレーノズルの2種類を標準装備
- 0.01μフィルター搭載したクリーンエアーによる除電
- 放電針は交換が容易なコネクター方式を採用
仕様
| 型式 | MODEL 307R |
|---|---|
| 放電方式 | ACコロナ放電方式 |
| 入力電圧 | AC100V～AC110V 50Hz/60Hz 電源コード AC100V用付属 |
| 入力電流 | 0.23A |
| 出力電圧 | 5.3kV～ |
| 消費電流 | 0.23A以下 |
| 使用圧力範囲 | 0.05～0.7MPa |
| 使用気体 | クリーンドライエアーまたは窒素 |
| 気体導入口 | Ø6ワンタッチ継手 |
| エアー流量 | 118ℓ/min MAX |
| ガンケーブル長 | 2m |
| 周囲温湿度 | 動作時: 10～40℃ 35％～65％RH 保存時: 0℃～40℃ 35％～85％RH (氷結 結露なきこと） |
| 外形寸法(mm) | ガン:145(W)×28(D)×145(H) コントローラー:153(W)×189(D)×86(H) |
| 重量(g) | ガン:520g コントローラー:2,100g |
| 標準放電針 | タングステン針 |
| 付属品 | ビームノズル 予備ヒューズ（コントローラー内部に付属) 電源コード（AC100V用 3m) |
| オプション | ポリシリコン針 |
| 消耗品 | フィルター:F-307R(10本/式) タングステン針:W-307R ポリシリコン針:P-307R |
