クリーンジェットガン MODEL 307R

製品カタログPDF

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。
安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、アラームにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計)
除電・除塵エリア(集中的から広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。
ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

製品概要・仕様
外観図PDF

製品概要

◎エアー吹き出しノズルはビームノズルとスプレーノズルの2種類を標準装備
◎0.01μフィルター搭載したクリーンエアーによる除電
◎放電針は交換が容易なコネクター方式を採用

製品仕様

型式 MODEL 307R
放電方式 ACコロナ放電方式
入力電圧 AC100V~AC110V 50Hz/60Hz
電源コード AC100V用付属
入力電流 0.23A
出力電圧 5.3kV~
消費電流 0.23A以下
使用圧力範囲 0.05~0.7MPa
使用気体 クリーンドライエアーまたは窒素
気体導入口 Ø6ワンタッチ継手
エアー流量 118ℓ/min MAX
ガンケーブル長 2m
周囲温湿度 動作時: 10~40℃ 35%~65%RH 
保存時: 0℃~40℃ 35%~85%RH (氷結 結露なきこと)
外形寸法(mm) ガン:138(W)×28(D)×147(H)
コントローラー:155(W)×205(D)×95(H)
重量(g) ガン:520g
コントローラー:2,100g
標準放電針 タングステン針
付属品 ビームノズル
予備ヒューズ(コントローラー内部に付属)
電源コード(AC100V用 3m)
オプション ポリシリコン針
消耗品 フィルター:F-307R(10本/式)
タングステン針:W-307R
ポリシリコン針:P-307R



03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)