イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。
安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計)
除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。
ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

製品概要・仕様
外観図PDF

製品概要

◎MODEL 307の後継機として、安全回路を搭載しVer UP
◎スポットから広範囲まで、最適な除電ができるノズルを2タイプ付属
 (ワイドエリア用、スポットエリア用の 2 種類を標準装備)
◎0.01μフィルターで濾過したクリーンエアーによる除電
 (0.01μフィルターはワンタッチ着脱方式)
◎様々な条件に対応するイオンバランス調整機能付
◎エミッター(放電針)はシリコン電極も選択可能
◎現場で簡単にエミッタ(放電針)交換が可能(ピンコネクター方式を採用)

仕様

入力電圧 AC 100 V - 115 V 50 / 60 Hz
入力電流 0.23 A
適用フィルター 307 用 HAG - 1
圧力範囲 0.05 ~ 0.7 MPa
流量 118 L / min MAX
使用周囲温度 5 ~ 40 ℃
使用周囲湿度 35 ~ 65 % RH (結露なきこと)
ガン部重量 500 g
電源部重量 2.1 kg


※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)