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製品紹介

ガンタイプ イオナイザ

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。
このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。
イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

製品概要

◎新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、除塵効果UP
◎Φ1.5mmの極小ノズルを採用し、ピンポイント除電・除塵性能が向上
◎制御スイッチをグリップ部に配置し、操作性を向上
◎現場で簡単にエミッタ(放電針)交換が可能(ピンコネクタ方式)
◎高電圧回路の異常を検知する安全回路を内蔵
◎フットスイッチによる制御も可能(オプション)
◎放電針は交換が容易なピンコネクタ方式を採用(メンテナンスが簡単)

仕様

入力電圧 DC 24 V (AC 90-264 V 50 / 60 Hz 用アダプタ付属)
入力電流 0.5 A MAX
気体圧力 0.4 MPa MAX (スピコンにて流量調整可能)
パルス幅 1Hz ~ 10Hz
使用周囲温度 10 ℃ - 40 ℃
使用周囲湿度 35 % RH - 65 % RH (結露なきこと)
付属品 ACアダプタ (AC 90-264 V 50 / 60 Hz用アダプタ付属)
電源コード (AC 100 V - 120 V用)
オプション フットスイッチ
ペン部重量 130g
コントローラ部重量 750g

 
 製品紹介ビデオ

 外観図

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