ペンタイプイオナイザー MODEL 3080S

製品カタログPDF

新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。
このペンタイプイオナイザーは、高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。
イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

製品概要・仕様
製品紹介ビデオ
外観図PDF

製品概要

◎Φ1.5mmの極小ノズルで吹き付け、ピンポイント除電性能が向上
◎パルスエアー機能の搭載により除塵率の向上
◎放電針は交換が容易なコネクター方式を採用
◎CEマーキング取得済み

製品仕様

型式 MODEL 3080S
放電方式 高周波ACコロナ放電方式
入力電圧 AC100V~240V 50Hz/60Hz
電源コード AC100V用付属
入力電流 0.13A MAX(DC24V)
出力電圧 2.0kV~
消費電流 0.5A以下
使用圧力範囲 0.05~0.4MPa
使用気体 クリーンドライエアーまたは窒素
気体導入口 Ø6ワンタッチ継手
エアー流量 41ℓ/min MAX
ガンケーブル長 2m
周囲温湿度 動作時10~40℃ 35~65%RH 保存時0~40℃ 35~85%RH(氷結 結露なきこと)
外形寸法(mm) ペン:24.6(W)×181.5(D)×32.2(H)
コントローラー:153(W)×181(D)×85.6(H)
重量(g) ペン:130g
コントローラー:600g
付属品 ACアダプター電源コード(AC100V用3M)
標準放電針 タングステン針W-3080S
オプション ポリシリコン針P-3080S
フットスイッチ
消耗品 フィルター F-3080S(10本/式)
タングステン針W-3080S
ポリシリコン針P-3080S

製品紹介ビデオ

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)