小型静電気監視センサ MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザ(除電装置)は不可欠なものですが、思わぬトラブルや環境異常等による除電ミスが製品の品質、製造コストの上昇、歩留まり等に影響を及ぼします。
MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所での静電気監視、管理が行えます。

製品概要・仕様
外観図PDF

製品概要

◎表面電位センサを最大5箇所まで設置可能で、同時測定・監視もOK
◎小型表面電位センサを採用(フリ−レイアウト対応)
◎測定レンジを切り替えることで、最大±50KVまで正確に測定
◎アナログ出力端子を搭載(測定値の管理・記録が可能)
◎センサ個別に、異常値を任意設定可能(アラーム機能搭載)

仕様

入力電圧 AC 100 - 240 V  50 / 60 Hz
入力電流 0.24 A
測定範囲 LO レンジ ± 0.01 kV ~ ± 5.00 kV
(測定距離 10 mm)
HI レンジ ± 0.1 kV ~ ± 50.0 kV
(測定距離100mm)
測定精度 LO レンジ ± 5 % (± 2 デジット)
HI レンジ ± 5 % (± 2 デジット)
測定電位表示 LO レンジ 0.01 kV 単位
HI レンジ 0.1 kV 単位
警報電位設定 LO レンジ 0.01 kV 単位
HI レンジ 0.1 kV 単位
外部出力 アナログ出力±10 mV ~ ± 5000 mV
センサーケーブル長 1m+中継ケーブル4 m 計5m(標準) ※特注で10mまで可能
使用周囲温度 10 ~ 40 ℃
使用周囲湿度 35 ~ 65 % RH (結露なきこと)
外形寸法 本体 216 (W) ×93(H) ×240 (D) mm
センサー 14.5 (W) ×16.5 (H) ×80 (L) mm
重量

本体: 1.8 Kg / センサー: 120g

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)