ウェハ移載機 BPP200 / BPP150

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センサによりマッピングを行い正確なウェハの位置を読み込みます。 キャリアからキャリアへ一括して移載。省スペースの卓上タイプ。

製品概要・仕様

製品概要

●キャリアからキャリアへ一括して移載。
●省スペースの卓上タイプ
●ノンバキューム方式
●移載前にマッピングを行い正確なウェハの位置を読み込みます。
(ウェハが正しくキャリアにセットされているか、ずれていないかチェック。)
●載せ替えるキャリアについてもウェハが残っていないかチェック
●200mm(BPP200)又は150mm(BPP150)に対応
●PWP(ウェーハ搬送発塵) <10@0.2um
●キャリアとウェハに対しESD保護を実現
●オプション: MEMSウエハ用長尺縁接触フィンガー

仕様

電源 AC 100/240 V、50 / 60Hz
電流容量 2 A
外形寸法 BPP150: 770(L)×365(W)×565(H) mm BPP200: 770(L)×365(W)×565(H) mm

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)