ウェハ自動移載機

本装置は6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機です。キャリア自動識別機能、マッピング機能、基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載、レシピ移載など、お客様のご要求仕様に基づきカスタマイズ可能です。

製品概要・仕様

製品概要

●装置中心に自社製ロボットを配置
●キャリアステージ ×2か所
●装置前面に操作GUIタッチパネル(上部・前面選択可能)
●マッピングセンサ付きロボットハンド
●ライトカーテン
●シグナルタワー
●非常停止ボタン
●オプション
:ID読取機構
:エッジグリップ仕様
:架台付き
:アライナー (写真はアライナー付き)

【標準仕様

●対応ウェハ:6㌅(OF)、8㌅(Vノッチ)

:裏面真空吸着可能なウェハ

●対応カセット:

6㌅ スロットピッチ4.7625mm 25スロット

8㌅ スロットピッチ6.35mm 25スロット

●移載時間:約3分/25枚 *アライメントあり:約8分(各マッピング動作なし)

●安全機構

非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ

カセット在荷センサ・ウェハ飛出しセンサ・メンテナンスカバー検知センサ

●外寸:840mm(W)x700mm(D)x625mm(H) *表示灯、モニタなど除く

●重量:約66kg

●電源:AC100V 10A

●真空:-53kPa以上

●圧空:0.5MPa以上

●制御:Windows10 64bitを本体に内蔵、10.1㌅タッチパネル、GUI

★12㌅仕様は別途お問い合わせ下さい。

★2ポート/4ポートソーター・顕微鏡ローダーもラインアップしております。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)