製品概要

●装置中心に自社製ロボットを配置
●キャリアステージ ×2か所
●装置前面に操作GUIタッチパネル(上部・前面選択可能）
●マッピングセンサ付きロボットハンド
●ライトカーテン
●シグナルタワー
●非常停止ボタン
●オプション
：ID読取機構
：エッジグリップ仕様
：架台付き
：アライナー　（写真はアライナー付き）

【標準仕様】

●対応ウェハ：6㌅（OF）、8㌅（Vノッチ）

：裏面真空吸着可能なウェハ

●対応カセット：

6㌅ スロットピッチ4.7625mm 25スロット

8㌅ スロットピッチ6.35mm 25スロット

●移載時間：約3分/25枚 *アライメントあり：約8分（各マッピング動作なし）

●安全機構

非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ

カセット在荷センサ・ウェハ飛出しセンサ・メンテナンスカバー検知センサ

●外寸：840mm(W)x700mm(D)x625mm(H) *表示灯、モニタなど除く

●重量：約66kg

●電源：AC100V 10A

●真空：-53kPa以上

●圧空：0.5MPa以上

●制御：Windows10 64bitを本体に内蔵、10.1㌅タッチパネル、GUI

★12㌅仕様は別途お問い合わせ下さい。

★2ポート／4ポートソーター・顕微鏡ローダーもラインアップしております。