クリーンイオナイザー製品
ウェハ自動移載機
本装置は6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機です。キャリア自動識別機能、マッピング機能、基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載、レシピ移載など、お客様のご要求仕様に基づきカスタマイズ可能です。
製品概要
- 装置中心に自社製ロボットを配置
- キャリアステージ ×2か所
- 装置前面に操作GUIタッチパネル(上部・前面選択可能）
- マッピングセンサ付きロボットハンド
- ライトカーテン
- シグナルタワー
- 非常停止ボタン
オプション
- ウェハID読取機構
- エッジグリップ仕様
- 架台付き
- アライナー （写真はアライナー付き）
仕様
| 対応ウェハ | 6㌅（OF）、8㌅（Vノッチ）：裏面真空吸着可能なウェハ |
|---|---|
| 対応カセット | 6㌅ スロットピッチ4.7625mm 25スロット 8㌅ スロットピッチ6.35mm 25スロット |
| 移載時間 | 約3分/25枚 *アライメントあり：約8分（各マッピング動作なし） |
| 安全機構 | 非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ カセット在荷センサ・ウェハ飛出しセンサ・メンテナンスカバー検知センサ |
| 外寸 | 840mm(W)x700mm(D)x625mm(H) *表示灯、モニタなど除く |
| 重量 | 約66kg |
| 電源 | AC100V 10A |
| 真空 | -53kPa以上 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 制御 | Windows10 64bitを本体に内蔵、10.1㌅タッチパネル、GUI |
★12㌅仕様は別途お問い合わせ下さい。
★2ポート／4ポートソーター・顕微鏡ローダーもラインアップしております。
