製品概要 ●装置中心に自社製ロボットを配置 ●キャリアステージ ×2か所 ●装置前面に操作GUIタッチパネル(上部・前面選択可能) ●マッピングセンサ付きロボットハンド ●ライトカーテン ●シグナルタワー ●非常停止ボタン ●オプション :ID読取機構 :エッジグリップ仕様 :架台付き :アライナー (写真はアライナー付き)
【標準仕様】 ●対応ウェハ:6㌅(OF)、8㌅(Vノッチ) :裏面真空吸着可能なウェハ ●対応カセット: 6㌅ スロットピッチ4.7625mm 25スロット 8㌅ スロットピッチ6.35mm 25スロット ●移載時間:約3分/25枚 *アライメントあり:約8分(各マッピング動作なし) ●安全機構 非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ カセット在荷センサ・ウェハ飛出しセンサ・メンテナンスカバー検知センサ ●外寸:840mm(W)x700mm(D)x625mm(H) *表示灯、モニタなど除く ●重量:約66kg ●電源:AC100V 10A ●真空:-53kPa以上 ●圧空:0.5MPa以上 ●制御:Windows10 64bitを本体に内蔵、10.1㌅タッチパネル、GUI ★12㌅仕様は別途お問い合わせ下さい。 ★2ポート/4ポートソーター・顕微鏡ローダーもラインアップしております。