ウェハ整列機 ANA200 / MNA200 / AFA200 / MFA200

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自動でウェハを整列(マニュアルタイプもあり)。ノッチウェハ(ANA、MNA)又はフラットウェハ(AFA、MFA)をバッチ整列。省スペースの卓上タイプ。200mmに対応。

製品概要・仕様

製品概要

●ノッチウェハ(ANA、MNA) 又はフラットウェハ(AFA、MFA) をバッチ整列。
●省スペースの卓上タイプ
●ESD保護を実現。すべてのウェハとキャリアのコンタクトポイントに特殊材料を用い、クリーン&セーフに整列
●自動タイプ(ANA、AFA)はキャリアをセットし整列スタート
●希望する整列角度はキーパッドにより選択可能
●SECS/GME 対応可能
●マニュアルタイプ(MNA、MFA)は安全性や粒子汚染を気にせず高いコスト効果とシンプルで使い勝手が容易

仕様

電源 AC 100/240 V、50 / 60Hz
電流容量 1.2 A
外形寸法 ANA200: 330(L)×185(W)×165(H) mm
 (自動タイプ、ノッチウェハ)
MNA200: 230(L)×188(W)×165(H) mm
 (マニュアルタイプ、ノッチウェハ)
AFA200: 330(L)×185(W)×165(H) mm
 (自動タイプ、フラットウェハ)
MFA200: 230(L)×188(W)×165(H) mm
 (マニュアルタイプ、フラットウェハ)

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)