半導体およびフラットパネル製造関連機器・静電気除去装置・静電気測定機器・純水洗浄装置・塵埃除去装置・半導体検査機器などの開発・製造・販売および輸出入

超純水加熱装置AQUARIUSは、Teflon材またはPVDF材のインラインヒーターが内蔵された温水器です。加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給致します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に役立つでしょう。本装置は酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、その信頼性、及び品質によりあらゆる業界全般で広く採用されています。

AQUARIUS の信頼性と性能をコンパクトサイズで実現しました。 ELECTRA 純水加熱装置は、省スペースを最重要視するお客様の希望を叶える設計になっています。 本装置は製造工程装置付近に限らず、クリーンルーム内のどこにでも容易に設置でき、低・中流量の温純水供給のために最適な装置です。 “ 技術の強み、設計の柔軟性”に長けた商品です。

超純度以外の仕様適合時、ICD のPOSEIDON は水システムの高純度加熱を保証します。 この装置は CMP 工程、洗浄、及び種々の用法に使用可能です。

超純度以外の仕様適合時、ICD のPOSEIDON は水システムの高純度加熱を保証します。 この装置は CMP 工程、洗浄、及び種々の用法に使用可能です。 最小フットプリント版 純水加熱装置です。

JUNO 純水用赤外線加熱装置は、純水消費量を低減し洗浄品質向上に役立ちます。 ヒーター部は石英材、その他の流路はTeflon材ですので、加熱溶媒を高純度に維持します。 本装置がその信頼性、及び品質により業界全般にわたり技術の飛躍的な進歩をもたらし、顧客に高い満足をもたらすことを確信します。