純水加熱装置 POSEIDON (SSDI シリーズ)

超純度以外の仕様適合時、ICD のPOSEIDON は水システムの高純度加熱を保証します。
この装置は CMP 工程、洗浄、及び種々の用法に使用可能です。

製品概要・仕様

製品概要

●連続高流量での温純水供給可能
●乾燥時間の短縮
●溶解力向上で洗浄力アップ
●接液部はステンレス及びインコロイ仕様

仕様

モデルKWVOLTS寸法
SDI 24-3 024 240 / 480 130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cm
SDI 72-3 072 240 / 480 130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cm
SDI 96-3 096 480 130 (H) ×99 (W) ×31 (D) cm
SDI 120-3 120 480 130 (H) ×122 (W) ×31 (D) cm

*仕様についてはご相談承ります。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)