クリーンイオナイザー製品

ユニバーサルボンドテスター System 650

次世代の高精度ボンドテスター。
ウインドウズベースのソフトウェア“ボンドテストマネージャー”により容易なデータ管理を実現。
またシェアテスト後の破断状況をモニターで確認することができるイメージキャプチャー機能を搭載。300 mm ウェハ上のバンプシェアテスト対応。

ユニバーサルボンドテスター System 650
  • ユニバーサルボンドテスター System 650

製品概要

・標準的なテストからカスタムテストまで、幅広く対応が可能な装置です。
・電動高さ制御顕微鏡付き
・ワイヤープル、ボールシェア、ダイシェア、ツイザープル、スタッドプル、3ポイントベンドテスト、加熱テスト等、様々なテストに対応可能です。
・300㎜ウェハ、リードフレーム対応可能
・ウルトラファインピッチ(UFP)対応
・イメージキャプチャーオプション
・最大200㎏fまでのダイシェア対応
・モジュールツール保護機能
・世界言語をサポート

ボンドテストマネージャー (ソフトウェア)

ボンドテストマネージャーを使用することで、650 の優れた能力を
より幅広く活用することができます。
このソフトは、リアルタイムでのデータ解析及び効率的な
マシンセットアップを可能にします。
また測定結果の min、max、平均、標準偏差、Cpk、X-bar、
レンジの表示が可能です。

イメージキャプチャー

シェアテスト後の状況をモニターで確認する事ができます。
正確な破断状況の解析、保存が可能です。

300 mm ウェハ対応

300 mm ウェハ上のバンプシェアテストを行う事ができます。

仕様

テストモジュール プライマリーレンジ サブレンジ
ワイヤープルモジュール 100gf 100gf 20gf 50gf 100gf
1kgf 100gf 200gf 500gf 1kgf
10kgf 1kgf 2kgf 5kgf 10kgf
ダイシェアモジュール 20kgf 2kgf 5kgf 10kgf 20kgf
200kgf 20kgf 50kgf 100kgf 200kgf
ワイヤーボンドシェアモジュール 250gf 25gf 50gf 100gf 250gf
1kgf 100gf 200gf 500gf 1kgf
5kgf 500gf 1kgf 2kg 5kgf
CBP/ツイーザープルモジュール 100gf 10gf 20gf 50gf 100gf
1kgf 100gf 200gf 500gf 1kgf
10kgf 1kgf 2kgf 5kgf 10kgf
モジュール精度 0.15%
モジュール分解能 1:10000
システム仕様
内臓PC 高機能PC標準装備、DVD-CD RWドライブ内臓
USB、ネットワークポート
サーボ駆動 X/Yステージ スタンダード、305mm×155mm
X/Y分解能 1μm
Z分解能 0.1μm
位置戻り精度 25±1μm
ループハイト測定 可能
フォースプロファイル 可能
世界規格対応 Mil Std 883, Mil Std750, ASTM, JESD22-B117, JESD22-B116
CEマーキング、RoHS対応
装置本体寸法 及び ユーティリティー
本体寸法  高さ-560mm, 25in
幅 -432mm,17in
奥行き-585mm,23in
重量 55kg
電源 110~220VAC 50・60HZ
ドライエアー 400~550kPa
真空 67kPa