製品概要 この装置はUVテープを迅速かつ均一に硬化させることが可能で、長寿命のLED光源を採用し300mmまでのウェハサイズに対応しています。 LED-UV照射装置は、外部換気を必要とせず省スペース設計です。 ◎タッチパネルによる簡単操作 ◎UV照射10000時間の長寿命設計 ◎N2パージ時間と照射時間を任意に設定可能 ◎自己診断機能付き(LEDが壊れた場合はアラーム出力) ◎オゾン発生はありません ◎冷却ファンでの温度制御