MODEL 365

半導体用UV硬化型テープへのUV 照射装置として開発された操作性に優れた製品です。
LED-UV照射装置は、UVランプ方式に比べ発熱を抑え長寿命・省電力でランニングコストを削減することができます。

製品概要・仕様

製品概要

この装置はUVテープを迅速かつ均一に硬化させることが可能で、長寿命のLED光源を採用し300mmまでのウエハーサイズに対応しています。
LED-UV照射装置は、外部換気を必要とせず省スペース設計です。

◎タッチパネルによる簡単操作
◎UV照射10000時間の長寿命設計
◎N2パージ時間と照射時間を任意に設定可能
◎自己診断機能付き(LEDが壊れた場合はアラーム出力)
◎オゾン発生はありません
◎冷却ファンでの温度制御

仕 様

主波長 365 nm　70mW／㎠
ユーティリティ AC-100V (50 / 60 Hz)　MAX 3.5A
N2
装置寸法 (W×D×H) 550×800×140
装置重量 25 kg


※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

製品情報

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通（9:00～17:00）

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