クリーンイオナイザー製品

MODEL 365

半導体用UV硬化型テープの硬化用として開発されたLEDを光源のUV照射装置です。
長寿命・省電力でランニングコストを削減することができます。
※この製品はデモンストレーションが可能です。お問合せください。

MODEL 365

製品概要

  • 最大300㎜ウェハに対応
  • タッチパネルによる簡単操作
  • UV照射10000時間の長寿命設計
  • N2パージ時間と照射時間を任意に設定可能
  • 自己診断機能付き(LEDが壊れた場合はアラーム出力)
  • オゾン発生はありません
  • 冷却ファンでの温度制御

仕様

主波長 365 nm 70mW/㎠
ユーティリティ AC-100V (50 / 60 Hz) MAX 3.5A
N2
装置寸法 (W×D×H) 550×800×140
装置重量 25 kg