クリーンイオナイザー製品

HS-1840

長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発された HS-1840 ウェハ拡張装置。
モーター駆動ステージを採用し、使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。
又、ウェハやチップの転写用途にご使用いただくことが可能です。
※この製品はデモンストレーションが可能です。お問合せください。

HS-1840
  • HS-1840

製品概要

  • モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能
  • ステージストローク調整機構 (1 mm 単位で設定可能/Max80㎜)
  • タッチパネルによるコントロール
  • 拡張レシピ保存が可能(4レシピ)
  • フィルム予備加熱機構 (タイマー付)
  • ステージ加熱 (Max. 100℃)
  • ステージ上昇速度可変機構
  • フィルムオートカット機構
  • 最大ウェハサイズ 8 インチ
  • 各種拡張リング、フレーム対応
  • ウェハやチップの転写用途に使用が可能
タッチパネルオペレーション

最大4つのレシピの保存が可能

安全対策 アッパークランプ落下防止ダンパー

安全対策 漏電ブレーカー標準装備

仕様

電源 AC 100 V 5 A、 50 / 60 Hz
重量 30 kg
サイズ 655 (D) ×386 (W) ×335(H) mm