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製品紹介

ウェハ拡張装置

HS-1840

長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発された HS-1840 ウェハ拡張装置。
使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。

製品概要

モーター駆動の採用により、1mm 単位のステージストローク設定が可能になり、より高精度な拡張を実現します。
リングサイズの変更は、治具交換のみで対応でき、アルミ製拡張リング、グリップリング、特殊仕様リング等、顧客のニーズに合わせた改造も可能です。

●タッチパネルによるコントロール
●フィルム予備加熱機構 (タイマー付)
●ステージ加熱 (Max. 100℃)
●ステージストローク調整機構 (Max. 80 mm、1 mm レンジ)
●ステージ上昇速度可変機構
●フィルムオートカット機構
●最大ウェハサイズ 8 インチ
●各種拡張リング、フレーム対応
●モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能

仕様

電源AC 100 V 5 A、 50 / 60 Hz
重量30 kg
サイズ650 (D) ×400 (W) ×369 (H) mm

※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

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