HS-7600

ダイシングフレーム及びウェハをテープにマウントしカットします。
気泡無く貼り付け可能です。
(最大6インチフレーム対応)

製品概要・仕様

製品概要

ウェハのテープマウントは、高精度のダイシングを実現する上で重要な要素となります。
Model HS-7600 ウェハテープマウンティング装置は、常にテープにテンションを掛けた
状態でマウントする独自の構造により、ウェハとテープ間に気泡を入れる事なく、確実なマウントを行ないます。

ウェハ表面 の損傷に十分配慮した特殊ステージと、オペレーターの" Skill "を必要としない組込み式ローラーの使用により高い" Yield "を実現します。
また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備しています。

●最大ウェハサイズ 6 インチ
●各種ダイシングフレーム使用可能
●最大フィルム幅 HS-7600 : 240 mm
●ウェハ表面ヘの損傷防止の為の、特殊ステージ採用
●ステージ温度調整 MAX 100℃
●ダイシングテープ切断機構付
●ローラー圧の調整可能

イオナイザーによる静電気対策可

【イオナイザー使用例】

①フィルムセパレーター剥離時の静電気対策
ウェハフィルムマウンティング装置 HS-7600 イオナイザーによる静電気対策

②マウンティング後の静電気対策
ウェハフィルムマウンティング装置 HS-7600 イオナイザーによる静電気対策

※①、②の複合的対策も可能です。

仕様

電源 AC 100 V、50 / 60 Hz
電流容量 3 A
真空 60 kPa
寸法 700 (D) ×340 (W) ×280 (H) mm
重量 25 kg


※この製品はデモンストレーションが可能です。ご相談ください。

03-3263-666203-3263-6662

※営業部直通(9:00~17:00)