クリーンイオナイザー製品

HS-7600

ウェハをテープマウントする装置です。
気泡無く均一な貼り付けが可能です。
(最大6インチウェハ対応)
又、ウェハやチップの転写を行うことが可能です。
※この製品はデモンストレーションが可能です。お問合せください。

HS-7600
  • HS-7600

製品概要

・独自の構造により、ウェハとテープ間に気泡を入れる事なく、均一な貼り付けが可能。
・ウェハ表面 の損傷に十分配慮した特殊ステージ搭載・オペレーターのスキルを必要としない組込み式ローラーの使用により高い再現性を実現。
・ウェハやチップの転写を行うことが可能です。
・国内の弊社工場で受注生産されており、特殊な仕様に対応可能。

  • 最大ウェハサイズ 6 インチ
  • 各種ダイシングフレーム使用可能
  • 最大フィルム幅 HS-7600 : 240 mm
  • ステージ温度調整 MAX 100℃
  • ダイシングテープ切断機構付
  • 貼り付け圧の調整可能
  • ウェハやチップの転写が可能
ウェハチャックステージ高さ調整機構

調整前

調整後
低粘着テープ/フィルム吸着バー

テープ吸着の様子
安全対策 天板落下防止ダンパー機構

イオナイザーによる静電気対策可

【イオナイザー使用例】

仕様

電源 AC 100 V、50 / 60 Hz
電流容量 3 A
真空 60 kPa
寸法 700 (D) ×340 (W) ×280 (H) mm
重量 25 kg