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製品紹介

「フィルム」

二次電池の除塵対策

二次電池の除塵対策

二次電池の製造プロセスにて要求が高まっている除塵対策。生産ラインの採用工程と除塵対策製品について説明いたします。

卓上型チップソーター CT-200

卓上型チップソーター CT-200

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優れた信頼の日本製です。

HM-0608

HM-0608

Model HM-0608は手動でウェハーとダイシングフレームをセットした後、モーター駆動式ローラーでテープを貼り付けるセミオートウェハテープマウンティング装置です。 作業者の熟練度に関係なく気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。 (最大8インチフレーム対応)

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計です。マイコン制御式オートコントロール機能付きイオン送風機で、 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が一目で判断できます。又、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡単になりました。 ※フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

HS-1840

HS-1840

長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発された HS-1840 ウェハ拡張装置。 使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。

HS-7800

HS-7800

ダイシングフレーム及びウェハをフィルムにマウントしカットします。 気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。 (最大8インチフレーム対応)

HS-7600

HS-7600

ダイシングフレーム及びウェハをフィルムにマウントしカットします。 気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。 (最大 6 インチフレーム対応)

ダイシングフィルム

ダイシングフィルム

目的に合ったダイジングフィルムの選択は、重要な課題です。 一般 UV フィルム、ノンシリコン PVC フィルム、その他豊富な種類の中から、各種デバイス / 工程に最適なフィルムをご提案します。

防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 可燃性のガス雰囲気の中で発生する事故は、静電気が原因で起こる事例が多発しています。事故が発生すると物的損失だけでなく、作業者にも危険が及びます。防爆対象エリアを有する事業所の作業・生産工程での静電気対策は、今や必須事項となっています。  この防爆型イオナイザは、防爆エリアでの静電気を安全にコロナ放電で除電する防爆認定製品です。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

FPD(LP-TFT・OLED)の製造プロセスをはじめ、静電気制御が必要な工程に、画期的な性能でお応えする軟X線イオナイザです。一般大気中のあらゆる製造環境で、スペースにとらわれずにお使いいただける最先端の除電システムです。 今、 静電気対策のスタンダード技術として、多大な信頼をいただいています。

小型静電気監視センサ MODEL 750

小型静電気監視センサ MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザ(除電装置)は不可欠なものですが、思わぬトラブルや環境異常等による除電ミスが製品の品質、製造コストの上昇、歩留まり等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所での静電気監視、管理が行えます。

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

USW-102 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUPさせ、より強力な超音波を発生することで、 USW-102 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたウェブ用クリーナーです。 V スリットチャンバー内も特殊エアーバランサーを入れ、幅方向のエアーバランスは、より均一化されたものになっています。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着したダストを非接触法で完全に除去します。

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

イオン化エアーガン MODEL 307R

イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

ウェブ用クリーナー USW-102

ウェブ用クリーナー USW-102

PV 式スリット配列の USW-101 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を剥離可能なウェブ用クリーナーです。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着した異物を非接触法で完全に除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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