• 製品紹介
  • 製品FAQ&活用事例
  • イベント情報
  • ユーザーサポート
  • 会社概要
  • アクセス
  • お問い合わせ
製品一覧

お問い合わせフォーム

アクセスマップ
エンジニア採用情報
イベント情報
Korea Hugle Electronics,inc
ユーザーサポート
  • ユーザー登録 新規登録/変更/削除
  • ダウンロード オンラインで資料を入手
  • 生産終了製品 今までに発表した製品情報

製品紹介

「除電」

EUV POD フルオート洗浄システム SR-EUV(REN)

EUV POD フルオート洗浄システム SR-EUV(REN)

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUV PODのための全自動洗浄装置(特許取得済)です。Inner POD、Outer PODの分解/再組立はもちろん、各PODは個別の専用CHで洗浄/乾燥されます。 完全無人稼動も可能です。 ナノレベルのパーティクル除去を半導体デバイス容器洗浄装置メーカーとして30年間構築した独自の洗浄/乾燥技術で実現します。

SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。 IA-8は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。(その他容器についてもご相談に応じます。)

FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500(SORA)

FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500(SORA)

300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。 現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。 自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

チャージプレートモニタ MP-1

チャージプレートモニタ MP-1

「MP-1」は、イオナイザの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニタ(CPM)です。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「±除電時間 ⇒ イオンバランス」をフルオートで計測することも可能です。 大型タッチパネルによるスムーズな操作が可能で、日々のイオナイザメンテナンスが格段に簡素化されます。 又、計測データはリアルタイムによるグラフ表示なので、一目でイオナイザの動作状態を確認する事ができます。

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計です。マイコン制御式オートコントロール機能付きイオン送風機で、 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が一目で判断できます。又、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡単になりました。 ※フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 可燃性のガス雰囲気の中で発生する事故は、静電気が原因で起こる事例が多発しています。事故が発生すると物的損失だけでなく、作業者にも危険が及びます。防爆対象エリアを有する事業所の作業・生産工程での静電気対策は、今や必須事項となっています。  この防爆型イオナイザは、防爆エリアでの静電気を安全にコロナ放電で除電する防爆認定製品です。

オーダーメイド バーイオナイザ MODEL 453S

オーダーメイド バーイオナイザ MODEL 453S

お客様のご要望の通りにミリ単位で製作可能なバータイプ イオナイザのご紹介です。 半導体やFPD業界の製造装置内への設置もオーダメイド製作のため簡単に後付け設置可能です。又、半導体やFPD基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンブース/クリーンベンチに設置する事により、静電気による塵埃の付着・放電による製品の破壊を防止できます。 コントローラー部と放電バー間にDC12V信号線を採用する事により、安全性が更に向上しています。

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

イオン化エアーガン MODEL 307R

イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

ページTOPへ