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「ペットボトル」

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

イオン化エアーガン MODEL 307R

イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

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