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「生産ライン」

卓上型チップソーター CT-200

卓上型チップソーター CT-200

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優れた信頼の日本製です。

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

薄型ウェハ対応(TAIKOプロセス)シングルピックアップのウェハ移載機。 ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。省スペースの卓上タイプ。

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

チャージプレートモニタ MP-1

チャージプレートモニタ MP-1

「MP-1」は、イオナイザの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニタ(CPM)です。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「±除電時間 ⇒ イオンバランス」をフルオートで計測することも可能です。 大型タッチパネルによるスムーズな操作が可能で、日々のイオナイザメンテナンスが格段に簡素化されます。 又、計測データはリアルタイムによるグラフ表示なので、一目でイオナイザの動作状態を確認する事ができます。

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計です。マイコン制御式オートコントロール機能付きイオン送風機で、 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が一目で判断できます。又、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡単になりました。 ※フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

エアバー イオナイザ MODEL4100V

エアバー イオナイザ MODEL4100V

新制御方式(フレキシブルAC)でイオンを発生し、周波数を切替える事により 搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く最適に除電します。 【フレキシブルAC方式とは】 本体底面に配置されたイオン量センサで、帯電状態やイオンバランスを計測し、その計測状態に応じて印加電圧をフレキシブルに制御し、除電効率を向上させる方式。

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面タッチパネル方式のマニュアル洗浄機です。 IA-8 は、容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 IA-8 はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。

防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 防爆型 バータイプ イオナイザ システム 8804

 可燃性のガス雰囲気の中で発生する事故は、静電気が原因で起こる事例が多発しています。事故が発生すると物的損失だけでなく、作業者にも危険が及びます。防爆対象エリアを有する事業所の作業・生産工程での静電気対策は、今や必須事項となっています。  この防爆型イオナイザは、防爆エリアでの静電気を安全にコロナ放電で除電する防爆認定製品です。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

FPD(LP-TFT・OLED)の製造プロセスをはじめ、静電気制御が必要な工程に、画期的な性能でお応えする軟X線イオナイザです。一般大気中のあらゆる製造環境で、スペースにとらわれずにお使いいただける最先端の除電システムです。 今、 静電気対策のスタンダード技術として、多大な信頼をいただいています。

小型静電気監視センサ MODEL 750

小型静電気監視センサ MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザ(除電装置)は不可欠なものですが、思わぬトラブルや環境異常等による除電ミスが製品の品質、製造コストの上昇、歩留まり等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所での静電気監視、管理が行えます。

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

ウェブ用クリーナー(ハイエンド高圧型) USW-103

USW-102 の PPV 式スリット配列に、エアー圧力を上げた強力型です。 エアー圧の UP により音圧 (dB) をUPさせ、より強力な超音波を発生することで、 USW-102 でも除去が困難な異物を振動励起して除塵効果を更に高めたウェブ用クリーナーです。 V スリットチャンバー内も特殊エアーバランサーを入れ、幅方向のエアーバランスは、より均一化されたものになっています。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着したダストを非接触法で完全に除去します。

ウェブ用クリーナー USW-102

ウェブ用クリーナー USW-102

PV 式スリット配列の USW-101 を進化させた、PPV 式スリット配列です。 独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を剥離可能なウェブ用クリーナーです。磁気テープ、写真用フィルム、X 線フィルム、各種フィルム、金属箔、紙、金属ロール、ゴムロール等の表面に付着した異物を非接触法で完全に除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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