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製品紹介

「タッチパネル」

卓上型チップソーター CT-200

卓上型チップソーター CT-200

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優れた信頼の日本製です。

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

有機EL(OLED)用クリーナー USG-401S(N2)

有機EL(OLED)用クリーナー USG-401S(N2)

ヒューグルエレクトロニクスが提供する有機ELディスプレイ用クリーナーは、密閉チャンバー内の窒素環境下で有機蒸着されたガラス表面の異物を除去することが可能です。 すでに多くの有機EL封止(ENCAPSULATION)工程にて使用されており高い評価を頂いています。

超高速温度環境試験機 サーモジェット

超高速温度環境試験機 サーモジェット

サーモジェットは半導体/電子デバイス、DUT(Device Under Test)の温度環境を、最大20SCFMの気流を与えることにより急激に変化させ、温度環境を精密制御する超高速温度環境試験機です。

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

基板用両面クリーナー(省エネ型) USG-402S

小型基板から第10世代液晶ガラスまで対応する非接触式両面ドライクリーナーです。 フラットパネルディスプレイ (液晶、有機EL、プラズマ) のアレイ・セル行程で付着したパーティクル等をインラインにて表裏同時にクリーニングが可能です。 コロ・コンベア搬送されるFPDやOLED、太陽光発電パネルの両面クリーニングに最適です。

基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401S

基板用片面クリーナー(省エネ型) USG-401S

省スペース・省エネ型の超音波エアー基板クリーナーです。 コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロワーユニットも省電力・軽量化を実現しました。 FPD、有機EL、PVパネルの上面クリーニングに最適です。

チャージプレートモニタ MP-1

チャージプレートモニタ MP-1

「MP-1」は、イオナイザの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける最新型のチャージプレートモニタ(CPM)です。 現在、お客様がご使用されているイオナイザの「±除電時間 ⇒ イオンバランス」をフルオートで計測することも可能です。 大型タッチパネルによるスムーズな操作が可能で、日々のイオナイザメンテナンスが格段に簡素化されます。 又、計測データはリアルタイムによるグラフ表示なので、一目でイオナイザの動作状態を確認する事ができます。

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計です。マイコン制御式オートコントロール機能付きイオン送風機で、 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が一目で判断できます。又、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡単になりました。 ※フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

エアバー イオナイザ MODEL4100V

エアバー イオナイザ MODEL4100V

新制御方式(フレキシブルAC)でイオンを発生し、周波数を切替える事により 搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く最適に除電します。 【フレキシブルAC方式とは】 本体底面に配置されたイオン量センサで、帯電状態やイオンバランスを計測し、その計測状態に応じて印加電圧をフレキシブルに制御し、除電効率を向上させる方式。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

FPD(LP-TFT・OLED)の製造プロセスをはじめ、静電気制御が必要な工程に、画期的な性能でお応えする軟X線イオナイザです。一般大気中のあらゆる製造環境で、スペースにとらわれずにお使いいただける最先端の除電システムです。 今、 静電気対策のスタンダード技術として、多大な信頼をいただいています。

小型静電気監視センサ MODEL 750

小型静電気監視センサ MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザ(除電装置)は不可欠なものですが、思わぬトラブルや環境異常等による除電ミスが製品の品質、製造コストの上昇、歩留まり等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所での静電気監視、管理が行えます。

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

イオン化エアーガン MODEL 307R

イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

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