• 製品紹介
  • 製品FAQ&活用事例
  • イベント情報
  • ユーザーサポート
  • 会社概要
  • アクセス
  • お問い合わせ
製品一覧

お問い合わせフォーム

アクセスマップ
エンジニア採用情報
イベント情報
Korea Hugle Electronics,inc
ユーザーサポート
  • ユーザー登録 新規登録/変更/削除
  • ダウンロード オンラインで資料を入手
  • 生産終了製品 今までに発表した製品情報

製品紹介

「ウェハー」

卓上型チップソーター CT-200

卓上型チップソーター CT-200

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優れた信頼の日本製です。

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

小型クリーナー SPH-X100(基板用)

有効長300mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。 コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

HM-0608

HM-0608

Model HM-0608は手動でウェハーとダイシングフレームをセットした後、モーター駆動式ローラーでテープを貼り付けるセミオートウェハテープマウンティング装置です。 作業者の熟練度に関係なく気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。 (最大8インチフレーム対応)

SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。 IA-8は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。(その他容器についてもご相談に応じます。)

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

ウェハ移載機 SPP200 / SPP150

薄型ウェハ対応(TAIKOプロセス)シングルピックアップのウェハ移載機。 ウェハをキャリアから1枚ずつピックアップして搬送します。キャリアからキャリアへ移動及びキャリア内での移動にも対応。省スペースの卓上タイプ。

ウェハ移載機 BPP200 / BPP150

ウェハ移載機 BPP200 / BPP150

センサによりマッピングを行い正確なウェハの位置を読み込みます。 キャリアからキャリアへ一括して移載。省スペースの卓上タイプ。

ウェハ移載機 AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150

ウェハ移載機 AWT200 / AWT150 / MWT200 / MWT150

自動でウェハをスライド(マニュアルタイプもあり)。SEMI規格のキャリア間にて水平なバッチ移載。省スペースの卓上タイプ。

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。 ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型イオン送風機 MODEL 1900

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト設計です。マイコン制御式オートコントロール機能付きイオン送風機で、 LED表示により自身の動作状態・クリーニング時期・アラーム警告が一目で判断できます。又、放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡単になりました。 ※フロントのノブを回せば、内蔵ブラシが回転し放電針先端のクリーニングが完了です。

Model 3200 / 3250

Model 3200 / 3250

最大 8 インチまでのウェハに対応可能。 ウェハエッジでのフィルムカット精度は、エッジから 127 ミクロン以内と高い精度を実現します。また、作業時間も 1 枚の貼り付け / カットに約 20 秒と作業効率のアップにも貢献します。 フィルムのセパレーター巻取り / 静電気対策も可能です。

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

SMIF POD マニュアル洗浄システム IA-8

8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面タッチパネル方式のマニュアル洗浄機です。 IA-8 は、容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。 IA-8 はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。

IRISYS-SX ISX-224

IRISYS-SX ISX-224

FPD(LP-TFT・OLED)の製造プロセスをはじめ、静電気制御が必要な工程に、画期的な性能でお応えする軟X線イオナイザです。一般大気中のあらゆる製造環境で、スペースにとらわれずにお使いいただける最先端の除電システムです。 今、 静電気対策のスタンダード技術として、多大な信頼をいただいています。

小型静電気監視センサ MODEL 750

小型静電気監視センサ MODEL 750

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザ(除電装置)は不可欠なものですが、思わぬトラブルや環境異常等による除電ミスが製品の品質、製造コストの上昇、歩留まり等に影響を及ぼします。 MODEL 750 は 1 台で製造工程中の 5 ヶ所での静電気監視、管理が行えます。

オーダーメイド バーイオナイザ MODEL 453S

オーダーメイド バーイオナイザ MODEL 453S

お客様のご要望の通りにミリ単位で製作可能なバータイプ イオナイザのご紹介です。 半導体やFPD業界の製造装置内への設置もオーダメイド製作のため簡単に後付け設置可能です。又、半導体やFPD基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンブース/クリーンベンチに設置する事により、静電気による塵埃の付着・放電による製品の破壊を防止できます。 コントローラー部と放電バー間にDC12V信号線を採用する事により、安全性が更に向上しています。

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

ペンタイプ イオナイザ MODEL 3080S

新機能「パルス(間欠)エアー」の搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。 このペンタイプ イオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアー 又は 窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。 イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。

イオン化エアーガン MODEL 307R

イオン化エアーガン MODEL 307R

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてバージョンアップ致しました。 安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、ブザーにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計) 除電・除塵エリア(スポットから広範囲まで)を用途に合わせて、ノズル選択できる汎用モデルです。 ガラス基板・ディスク・ウェハ・レチクル上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過したイオン化エアー(又は、窒素)により素早く・正確に除去します。

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

スポットクリーナー SPS-10(基板用)

有効長10~70mmまで対応可能なスポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に最適です。コンプレッサーエアー(CDA)+排気ラインなど、既存の工場設備を利用することで初期導入費用を抑え、低コストで運用が可能です。

ページTOPへ